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  4. Dr. Benedikt Hauer: Barriere-Schichtdicken inline messen
Dr. Benedikt Hauer – Barriere-Schichtdicken inline messen 

Zu Gast: Dr. Benedikt Hauer, Physiker am Fraunhofer-Institut für
Physikalische Messtechnik IPM (Freiburg) 

Thema: Entwicklung einer optischen Messtechnik zur
Inline-Erfassung hauchdünner Barriereschichten (SiOx, AlOx) auf
Verpackungen 

 

1. Hintergrund & Motivation 

Herausforderung in der Verpackungsindustrie: Extrem dünne
Barriere-Schichten (u. a. gegen Feuchtigkeit oder Sauerstoff)
sind unsichtbar und müssen genau gemessen werden. 

Bisherige Verfahren: Oft nur stichprobenartig und langsam (z. B.
Röntgenfluoreszenz). Fehlende Inline-Lösungen für die laufende
Produktion. 

Ziel: Schnelle, kontinuierliche Qualitätskontrolle, um Ausschuss
zu reduzieren und Ressourcen zu schonen. 

2. Fraunhofer IPM und seine Expertise 

Institut in Freiburg: Spezialisierung auf optische Messtechnik,
traditionsreiches Fraunhofer-Institut. 

Dr. Benedikt Hauer: Physiker mit Schwerpunkt Nahfeld-Optik. 

Zusammenarbeit: Enge Kooperation mit anderen
Fraunhofer-Instituten (z. B. IVV in Freising) sowie
Industriepartnern (z. B. Plasma Electronic). 

3. Optische Inline-Messtechnik 

Funktionsprinzip: Bestimmung der Schichtdicke durch Messung der
Reflektivität bzw. Absorption im Infrarotbereich. 

Genauigkeit: Auf wenige Nanometer präzise – entscheidend bei
dünnen Barrieren aus Siliziumoxid (SiOx) oder Aluminiumoxid
(AlOx). 

Vorteile:  

Real-Time-Messung im laufenden Prozess (Inline) 

Hohe Wiederholgenauigkeit und schnelle Auswertung 

Keine gesundheitsschädliche Strahlung wie bei
Röntgenverfahren 

4. Anwendung in der Industrie 

Erste Integration: In Beschichtungsanlage von Plasma
Electronics. 

Ergebnis: Nachweisbare Inline-Messung von Siliziumoxid-Schichten
mit Nanometerpräzision. 

Aktuelle Entwicklung: Erhöhung der Messrate auf mehrere
Kilohertz, um selbst hochdynamische Prozesse erfassen zu
können. 

5. Potenzial für die Folienindustrie 

Rolle-zu-Rolle-Prozesse: Dominierendes Verfahren für flexible
Verpackungen. 

Nächster Schritt: Ausbau von Punktmessungen zur flächendeckenden
Bahnüberwachung mit mehreren Sensoren. 

Langfristige Vision: Vollständige Qualitätskontrolle über die
gesamte Materialbreite in Echtzeit. 

6. Marktreife & Ausblick 

Verfügbarkeit:  

Sensor für Batch-Prozesse (statisch, z. B. in
Beschichtungsanlagen) ist bereits erhältlich. 

Rolle-zu-Rolle-Lösung noch in der Optimierung (Herausforderungen:
mechanische Bewegung, „Bahnflattern“, Langzeitstabilität). 

Testmöglichkeiten:  

Fraunhofer IPM bietet Machbarkeitsstudien für interessierte
Unternehmen an. 

Proben können zur Analyse eingesendet werden.7. Fazit &
Ausblick 

Revolution in der Qualitätskontrolle: Inline-Messtechnik
ermöglicht kontinuierliche Überwachung ultradünner Schichten in
Echtzeit. 

Relevanz: Steigende Anforderungen an Recyclingfähigkeit und
Ressourceneffizienz machen präzise Messtechnik
unverzichtbar. 

Nächste Gelegenheit: Live-Präsentation bei Expertentreff
Barrierefolien in Würzburg, Vortrag von Benedikt Hauer zu diesem
spannenden Thema. 

 

Kontakt & weitere Infos: 

Fraunhofer IPM: www.ipm.fraunhofer.de (Informationen zu aktuellen
Projekten und Kooperationen) 

Viel Spaß beim Hören und Entdecken neuer Technologietrends in der
Verpackungsbranche! 
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Worum geht es? Danach fragen wir noch nach dem Grund.

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