EUV-Lithografie: Die Riesenmaschine | Bit-Rauschen 2022/14
Mit Carsten Spille und Christof Windeck
36 Minuten
Podcast
Podcaster
Beschreibung
vor 3 Jahren
Winzige Chipstrukturen verlangen riesige Lithografiesysteme. Die
teuren Giganten mit EUV-Strahlung sind Thema im Podcast
Bit-Rauschen, Folge 2022/14.
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